LABORATORY
M1棟623室(居室) / M1-623 (Office)

デスクワーク環境
Working office

ミーティング・懇談スペース
Meeting space
M1棟622室(計測室) / M1-622 (Measurement room)
専用設備 / Own Equipment

マニュアルプローバ①
Manual Prober 1

マニュアルプローバ②
Manual Prober 2

赤外フォトルミネッセンス評価装置
Infrared photoluminescence spectroscopy

ホール効果測定用真空プローバ
Hall effect measurement system

走査型プローブ顕微鏡
Scanning probe microscope
M1棟621室(計測室) / M1-621 (Measurement room)
専用設備 / Own Equipment

極低温フォトルミネッセンス評価装置
Cryogenic photoluminescence spectroscopy
M1棟621室(クリーンルーム) / M1-621 (Clean room)
専用設備 / Own Equipment

6源スパッタ装置
Six-target sputter deposition system

分光エリプソメトリ
Spectroscopic ellipsometry

2源真空蒸着装置
Two-source vacuum evaporator

真空急速加熱熱処理装置(MILA-5000UHV)
Vacuum rapid anneal furnace (MILA-5000UHV)

急速加熱熱処理装置(MILA-5000)
Rapid anneal furnace (MILA-5000)

急速加熱熱処理装置(MILA-3000)
Rapid anneal furnace (MILA-3000)
M1棟518室(共用実験室) / M1-518 (Shared laboratory)
専用設備 / Own Equipment

分子線エピタキシー/ECRプラズマ複合装置
Molecular beam epitaxy / ECR plama system
ウルトラクリーン実験施設(UCF)
専用設備 / Own Equipment

高密度プラズマ処理装置
High-density plasma treatment system

原子層堆積装置
Atomic layer deposition system

圧力勾配スパッタ装置
Pressure-gradient sputter deposition system

誘導結合プラズマエッチング装置
ICP-reactive ion etching system

液体ソースプラズマCVD装置
Liquid-source plasma CVD

分子線エピタキシー
Molecular beam epitaxy

エキシマ紫外光炉
Excimer UV furnace

急速加熱熱処理装置(MILA-5050)
Rapid anneal furnace (MILA-5050)

急速加熱熱処理装置(MILA-5000Z)
Rapid anneal furnace (MILA-5000Z)

急速加熱熱処理装置(MILA-5000)
Rapid anneal furnace (MILA-5000)

コンフォーカル顕微鏡
Confocal microscope

触針式プロファイリングシステム
Stylus Profiler

急速加熱熱処理装置
Rapid thermal annealing furnace

プラズマリアクタ
Asher

超高温熱処理炉
Ultra-high temperature anneal furnace

3源スパッタ成膜装置
Three-target sputter deposition system

スパッタ成膜装置
Sputter deposition system

ベルジャー蒸着装置
Bell-jar vacuum evaporator

光学顕微鏡
Optical microscope

マスクアライナ
Mask Aligner

レーザー描画装置
Laser lithography system

3源真空蒸着装置
Three-source vacuum evaporator

反応性イオンエッチング装置
Reactive ion etching
共用設備 / Shared Equipment

ウェットベンチ
Wet bench

走査型X線光電子分光分析装置
Scanning X-ray photoelectron spectroscopy

高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
Scanning electron microscope

集束イオンビーム加工観察装置
Focused ion beam system